電動物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元?？梢詿o縫切換倍率和觀察方法，不會丟失觀察對象。此外，該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級觀測。

涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。

可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，先進(jìn)光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外，對于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對象，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC） 
觀察中，可以進(jìn)行納米級微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。

明視場觀察（IC元件）

微分干涉（DIC）觀

激光微分干涉（DIC）觀察

縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。

放置好樣品后，所有的操作都在1臺裝置上完成?？梢匝杆?，正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

一體機(jī)的機(jī)型，所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對新樣品。

OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī)，所以無需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評價(jià)。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠高效輸出*佳結(jié)果。

OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測量

【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象

使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對象

OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長， 除了*常使用的明視場觀察（BF）以外， 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比， 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外， OLS4500上還配有HDR功能（高動態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成， 來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。

BF 明視場
*常使用的觀察方法。在觀察中真實(shí)再現(xiàn)樣品的 
顏色。適用于觀察有明暗對比的樣品。

DIC 微分干涉
對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差， 
添加明暗對比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金 
相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 
或異物等。

簡易偏振光
照射偏振光（有著特定振動方向的光線）， 使樣 
品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。

HDR　高動態(tài)范圍
使用不同曝光時(shí)間拍攝多張影像并進(jìn)行影像合成， 
可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 
外，還可以強(qiáng)調(diào)紋理（表面狀態(tài)），進(jìn)行更精細(xì)的 
觀察。

使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡， 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對象。在激光微分干涉（DIC）模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級的微小凹凸。

明視場觀察（玻璃板上的異物）

激光微分干涉觀察

【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象，在SPM上正確完成觀察

實(shí)現(xiàn)了無縫觀察，不會丟失觀察對象

OLS4500在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡， 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時(shí)觀察中， 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心， 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對準(zhǔn)該位置后， 只要切換到探針顯微鏡， 就能夠正確接近觀察對象。因此， 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像， 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。

不會在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?/span>

使用探針顯微鏡開始觀察之前， 可以在向?qū)М嬅嫔显O(shè)置所需的條件， 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經(jīng)驗(yàn)較少的操作者也能安心完成操作。

【納米級測量】簡單操作，可以迅速獲得測量結(jié)果

新開發(fā)的小型SPM測頭， 減少了影像瑕疵

新開發(fā)的小型SPM測頭

OLS4500采用了裝在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上的物鏡型SPM測頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端，所以切換SPM觀察時(shí)不會丟失觀察目標(biāo)點(diǎn)。不僅如此，新開發(fā)的小型SPM測頭提高了剛性，所以與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。

使用向?qū)Чδ埽杂煞糯?/span>SPM影像

使用向?qū)Чδ埽?/span> 可以觀察時(shí)進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描， 就可以獲取所需的SPM影像?？梢宰杂稍O(shè)置掃描范圍， 所以大幅度提高了觀察和測量的效率。

向?qū)Чδ茉?/span>10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍

主機(jī) 規(guī)格

金屬薄膜