MKS NW40 - NW50耐腐蝕閥門采用專利技術在閥門處于打開處理位置時完全密封閥門波紋管。如果適用,可使用獨特的傘形閥(排氣閥)排出滯留氣體。CRV 耐腐蝕真空隔離閥采用卓越的技術和優(yōu)質(zhì)材料制造,非常耐用和可靠。它外形小、重量輕、成本低且易于維護。

MKS NW40 - NW50耐腐蝕閥門特征
TIG 熔焊真空級閥體
另一個標準功能是 TIG 熔焊真空級主體,由高度耐腐蝕的 304 不銹鋼制成,可減少滯留區(qū)域,從而減少污染積聚。耐腐蝕閥有角度和直列配置可供選擇。端口尺寸包括 NW 40 和 NW 50,使用最大內(nèi)徑以獲得更大的電導。對于密封操作,彈性密封件可用于典型真空操作條件的 Viton?,或 Kalrez?、Chemraz?、Perlast? 或 Gumlast? 用于更高溫度條件和更高的耐化學性。

顯示防護罩的閥門剖視圖
MKS NW40 - NW50耐腐蝕閥門應用
耐腐蝕和耐臭氧閥設計用于在極其惡劣的半導體或太陽能過程中提供長壽命。這是通過屏蔽薄壁波紋管,限制波紋管暴露于腐蝕性或反應性氣體來實現(xiàn)的。需要耐腐蝕閥門的典型工藝是 CVD 和蝕刻。這些工藝使用氟、氯、溴或臭氧等氣體。建議對氟或臭氧使用鋁屏蔽,而在使用氯或溴時應使用不銹鋼屏蔽。該閥還可用于排氣管線應用,以避免閥門波紋管腐蝕。
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